技术编号:7225208
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于液晶、有机EL ( Electroluminescence,电致 发光)等中的TFT (Thin Film Transistor,薄膜晶体管)阵列基板的 制造步骤及检查步骤,而且涉及对基板进行缺陷检查、并对由缺陷检查 检测出的缺陷进行修正的装置,以及,根据对基板进行缺陷检查及修正 所得的缺陷数据或检查数据来对基板进行评估,进而根据这些缺陷数据 或检查数据而反馈给基板的制造步骤的基板评估系统。背景技术TFT阵列例如用作对液晶显示装置或有机E...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。