具有应力消除分隔件的晶片级封装及其制造方法技术资料下载

技术编号:7225572

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本发明涉及一种包括应力消除机构的半导体器件封装及其制造方法。背景技术 半导体制造和封装技术已经演变为器件封装可包括多个堆叠关系的集成电路芯片,从而以封装级提供较小的形状因子和较高的集成密度。在这样的封装中,单个芯片均包括要外部传递的多个信号。这种传递发生在向该芯片的端表面分布信号的多个金属互连部分上。根据多种不同的技术来连接堆叠的不同芯片上的金属互连部分。在芯片的层之间或者在封装的相邻芯片之间会出现机械应力。这种应力通常是由两个相邻层之间的热膨胀系数(CT...
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