技术编号:7225798
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明的总体构思涉及一种传输系统,更具体地讲,涉及一种在传输位置和存储位置之间传输起重单元或工件的过程中稳定地支撑该起重单元或该工件的传输系统。背景技术 通常,传输系统包括传输装置,沿着诸如轨道的路径运送以传输工件;加工站,设置在所述路径上以处理工件;缓冲装置,设置在所述路径的旁边以临时存储工件。传输装置可分为自动型、高架(overhead)型等。以下,将通过示例的方式描述悬挂型的传输装置。悬挂型传输装置可将用于制造半导体的掩模版(reticle)、FOU...
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