快闪存储装置的制造方法技术资料下载

技术编号:7226210

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本发明涉及一种快闪存储装置,更具体而言,涉及一种能够防止在单元结单位(cell junction unit)之间产生穿通泄漏电流的。背景技术 随着快闪存储装置的集成水平增加,单元尺寸逐渐减小。特别是,在具有100nm或更小栅极长度的单元的情况下,可能由于小的栅极长度产生穿通泄漏电流,由此降低单元精度所要求的感测裕度(sensing margin)。图1是示出具有穿通和没有穿通的单元的V-I特性的曲线图。X轴表示任意单位(arbitrary unit)的栅极...
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