技术编号：7226258
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明通常涉及嵌段共聚物材料在特定表面上自组织为周期性图形(即，由重复结构单元限定的图形)。更具体地说，本发明提供采用改进了表面几何形状的衬底结构的方法，用于增强嵌段共聚物的自组织的周期性图形沿预定方向的排列，也用于减少自组织的周期性图形中的缺陷。本发明同时涉及包括具有改进的周期性图形的嵌段共聚物层的半导体结构，以及嵌段共聚物层本身。背景技术 可以将材料的自组织定义为材料在不需要人干涉的情况下自发组织为有序图形。材料自组织的实例范围从雪花到海贝壳到沙丘，所...
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