技术编号：7226984
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体技术，尤其涉及一种气敏传感元件的电极部件及其制造 方法和气敏传感元件。背景技术现有技术中的气敏传感元件的电极部件以陶资管式、微珠式、平面式为主。 陶瓷管式和微珠式结构多采用手工制作完成，但手工制作的产品存在着制作效 率低、器件特性参数均一性较差、成品率受人为因素影响较大等问题。利用微加工工艺技术制备出来的平面式结构，具有参数统一、重复度高、 可自动化制备、成品率高等优点，符合大批量生产的要求，能有效地降低传感 器的制作成本。目前现有技术中的...
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