技术编号：7227936
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种。 背景技术太赫兹(THz)量子级联激光器(QCL)是一种单极器件，电子通过在子带间跃迁来辐射 THz光子。THz QCL的有源区为多周期级联结构， 一个周期是一个多量子阱结构，有源区的周 期数目少则几十，多则上百， 一般采用分子束外延技术生长THz QCL级联结构，由于周期数 目多， 一般生长过程耗时长。在THz QCL的工艺过程之中，很重要的一步就是制作脊形结构， 一般通过湿法腐蚀或者 干法刻蚀来完成，而湿法腐蚀优于干法刻蚀的地方在于1、...
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