技术编号：7227965
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种微机电系统(MEMS)器件与集成电路的集成方法及集成芯片。 背景技术MEMS技术是近年来高速发展的一项高新技术。与由传统技术制作的对应器件相比， MEMS技术制作的器件在体积、功耗、重量及价格方面都有十分明显的优势，而且其采用先 进半导体制造工艺，可以实现MEMS器件的批量制造，目前在市场上，MEMS器件的主要应 用实例包括压力传感器、加速度计及硅麦克风等。MEMS器件需要与驱动、检测、信号处理等集成电路(CMOS/Bipolar)连接集成在...
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