技术编号:7228230
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及的是一种微加工的制造方法,具体是一种微机电系统的 永磁体微结构集成的制造方法。技术背景基于电磁作用原理的微驱动器是微机电系统(MEMS)常用的驱动部件之一, 各种电磁MEMS器件如电磁微马达、电磁微执行器、电磁驱动的微泵、电磁型微开 关、磁敏微传感器、电磁驱动微系统等受到了广泛重视和系统研究,这一类微器 件和微系统被统称为磁性MEMS 。在众多的磁性MEMS器件和系统中,磁性材料发挥着关键作用。包括软磁和永 磁材料,为了适应器件和系统微型化的整体...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。