技术编号:7228553
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于光电子器件领域,更具体的说是一种 TO封装的垂直腔面发射激光器。背景技术垂直腔面发射激光器(VCSEL)具有阈值电流低,光束发散角小,单纵模工作,易于集成,便于测量筛选,成本低等优势,是最有发展前途和实用价值的光发射器件之。目前垂直腔面发射激光器的封装技术与半导体边发射激光器、探测器的封装技术相比还不成熟,需要进一步完善。面发射激光器与传统边发射激光器有本质的不同即面发射激光器的光垂直激光器的面出射,而出光背面是电极,传统边发射激光器所采用的利用...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。