技术编号:7229316
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领城本发明涉及一种半导体结构的制造方法,特别是涉及一种增进图案均 匀度的方法。背景技术随着集成电路领域的快速发展,高效能、高积集度、低成本、轻薄短 小已成为电子产品设计制造上所追寻的目标。对目前的半导体产业而言,为 了符合上述目标,往往需要在同 一 晶片上,制造出多种功能的元件,例如,将 唯读记忆体、静态随机存取记忆体、快闪记忆体或动态随机存取记忆体与逻辑电路、数位电路等制作在同一个晶片上,即所谓的系统晶片(System 0n Chip, SOC)。然...
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