技术编号:7229373
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种微影方法,尤其涉及一种应用奈米小球形成二维图案的 方法。 背录技术发光二极管是一种相当常见的光电元件, 一般而言具有粗化表面的发光二极管或是具有二维光子晶体(photonic crystal)的发光二极管会比具有平滑表面的发光二极管具有更高的光萃取效率。常见于发光二极管表面形成二 维光子晶体的技术有以下三种电子束微影技术(Electron Beam Lithography, EBL)、奈米压印技术(Nanoimprint Lithograph...
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