技术编号：7229439
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光照射装置、光照射方法、结晶装置、结晶方法、半导体器件和光调制元件，并且涉及例如利用具有预定光强度分布的激光束照射非单晶半导体膜以产生结晶半导体膜的一种技术。背景技术 用作例如开关元件，在液晶显示器(LCD)之类中选择显示像素的薄膜晶体管(TFT)，通常都是用非晶硅或多晶硅形成的。大家都知道，与非晶硅的电子或空穴迁移率相比，多晶硅具有很高的电子或空穴迁移率。因此，与利用非晶硅形成晶体管的实例相比，用多晶硅形成晶体管的时候，开关速度更高，显示响应速...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。