技术编号:7229572
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及。背景技术 在无线通信设备例如移动电话的领域中,对于更小的高频电路或RF电路的需求日益增加,以便应对为实现高级功能所必须安装的部件数量的增加。响应于这种需求,人们已进行了各种努力,以运用MEMS(微机电系统)技术来使构成电路的部件或器件小型化。可变电容器是这些部件中的一种。在可变频率发射器、调谐放大器、阻抗匹配器电路等等中,可变电容器是必不可少的。例如,在以下专利文献1和2中揭示了运用MEMS技术制造的可变电容器。专利文献1JP-A-2004-6...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。