技术编号:7229725
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及采用了以喷墨法为典型的液滴喷射法的电路图案、薄膜晶体管(以下也称为TFT)及电子设备的制造方法、以及安装有薄膜晶体管的显示装置的制造方法。本发明特别涉及布线等的电路图案、薄膜晶体管及电子设备的形成方法。背景技术 当制造薄膜晶体管及由该薄膜晶体管构成的电子电路时,在衬底上层叠半导体、绝缘体、以及导电体等的各种薄膜。此时,作为形成图案的方法,光刻法很普遍。光刻法是利用光将被称为光掩模的在透光平板表面上使用非透光材料而形成的电路等的图案转写在目标衬底上...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。