技术编号:7229842
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及ー种用于ニ极管生产的工具,具体涉及ー种用于转移石墨舟上半导体晶粒的吸盘装置。背景技术现有半导体晶粒往往涉及多种生产エ艺,需要进行半导体晶粒转移。现有技术在吸附或转移的过程中晶粒经常会碰到预焊船和组焊船,很可能会损坏晶粒,导致产品最終不良;其次,由于气嘴平整度的原因或者气嘴磨损的原因使得个别气嘴与晶粒间隔太大而导致整盘晶粒不能完全吸起来。现有技术解决上述技术问题,采用中国专利申请号201110217430. 5的技术方案,其记载在原有吸盘上安装...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。