技术编号：7230009
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及叠层布线、制造该叠层布线的方法、利用该叠层布线的半导体、以及制造利用该叠层布线的该半导体的方法，尤其涉及一种应用于TFT(薄膜晶体管)的栅极等等、且利用微晶硅薄膜的叠层布线，以及制造该叠层布线的方法，并且涉及利用该叠层布线的半导体器件和制造该半导体器件的方法。本申请要求2006年3月22日提出的日本专利申请No.2006-078653的优先权，其在此作为参考引入。背景技术 例如，在作为公知代表性显示设备的传统LCD(液晶显示)设备中，使用将非晶硅...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。