技术编号:7230047
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及对被检查体的重复图案的缺陷进行检查的图案缺陷检查装置、图案缺陷检查方法、以及实施这些缺陷检查并制造光掩模的光掩模的制造方法。背景技术 一直以来,在作为被检查体的设备、或用于制造该设备的光掩模中,需要对在表面上形成的图案的缺陷进行检查。该图案的缺陷包括在规则排列的图案上具有意料外产生的不同规则性的错误。它们还被称为不均缺陷,在制造工序等中因某些原因而产生。尤其,在显示设备中若存在所述缺陷则产生显示不均,从而存在设备性能下降之患。在制造该显示设备时所...
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