技术编号:7230158
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于太阳能电池,特别涉及一种蘸取式多晶硅太阳能电池p-n结的制作方法。背景技术 p-n结是多晶硅太阳能电池的核心,p-n结的制作质量将直接影响到太阳能电池的转换效率。由于太阳能电池是浅结结构,与其它半导体器件的差别较大。传统工艺制作硅太阳能电池的p-n结一般采用扩散技术,即将掺杂源涂在衬底表面,经过高温扩散形成,或者通过携带有掺杂源的气体经过化学气相沉积形成p-n结。以上传统工艺存在以下诸多问题工艺设备要求复杂,工艺环节多,工艺耗时较长,制作过程中会...
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