技术编号：7230324
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及对半导体基板、液晶显示装置用玻璃基板、光掩模用玻璃基板、光盘用基板等(以下简称为“基板”)进行支撑的基板支撑结构、基板支撑结构中使用的第一片状物、基板支撑结构的制造方法、对基板进行热处理的热处理装置、吸附基板的基板吸附方法。背景技术 近年来，随着对在基板上形成的图案的线宽尺寸和线宽均匀性的要求越来越严格，对光刻的烘干热处理、特别是曝光后的烘干(PEBPost ExposureBake)中的温度均匀性的要求也越来越高。因此，提出有吸附基板来进行热处...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。