技术编号：7230904
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及太阳能硅片加工自动化设备领域，其涉及减反射膜制备工序的自动化设备领域，具体为一种用于板式PECVD设备的硅片自动上下料系统。背景技术在现有的减反射膜制备工序中，需要人工将碳板上已经处理过的硅片装入片盒、将未处理过的硅片装进碳板，其缺点在于人工操作易引起硅片的破碎使得生产成本高，同时，人工操作生产效率低、劳动强度大。发明内容针对上述问题，本实用新型提供了一种用于板式PECVD设备的硅片自动上下料系统，其能解决现有手工操作存在的硅片破碎率高的问题...
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