技术编号:7230999
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及互补型金属氧化物半导体(Complementary Metal-Oxide Semiconductor,以下简称CMOS)的,特别涉及一种CMOS图 像传感器的有源像素的制造方法。背景技术图像传感器是将光学图像转换为电信号的器件。通常分为二类电荷耦合器件(Charge Coupled Device,以下简称CCD)和CMOS。早期,CCD 图像传感器图像质量高,市场占有率很高。近年来,深亚微米CMOS技 术快速发展使得CMOS图像传感器(CMOS...
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