技术编号：7231281
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及根据权利要求1的前序部分用于涂敷衬底的涂敷设备，以及根据权利要求15的前序部分用于涂敷衬底的衬底载具的材料用途。 背景技术用于衬底涂敷的涂敷设备，特别是用于通过真空沉积方法一一例如 PVD (物理气相沉积)——来生产太阳能电池的涂敷设备，通常具有适于 容纳一个或多个衬底(例如硅晶片)的衬底载具。这样的衬底载具不仅用 于在涂敷设备内部容纳和传输衬底，还作为涂敷期间衬底所用的载具，所 以衬底载具在其材料特性方面必须满足各种要求。首先，它不能是会在加热...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。