技术编号:7231594
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明关于一种微尘吸附装置及使用此吸附装置的工艺机台;具体而言,本发明是关于一种微尘吸附装置,供吸附工艺机台长时间动作所引起的微尘。背景技术 TFT-LCD前段光刻薄膜工艺中的线上厚度量测机(In-line THK),一般是使用如IAI ISD-CR系列自润轴承等的导引装置作为机台动作的导引。然而,由于导引装置会因长时间动作反复摩擦而引起微尘,并会囤积于导轨金属片表面上,因此当机件动作时,常导致微尘掉落于产品上造成缺陷(defect),严重影响工艺良率。为...
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