技术编号:7231596
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于形成图案的模具,更具体地说,涉及。 背景技术 半导体器件和平板显示器件包括多个精细图案。为了在诸如晶片或玻璃的基板上形成这些精细图案,已经广泛使用了光刻方法。在光刻方法中,在基板上形成待构图的薄膜,然后向该薄膜施敷光刻胶。通过具有预定图案的光掩模将该光刻胶曝光,然后通过显影工艺选择性地去除光刻胶,由此形成光刻胶图案。通过使用该光刻胶图案作为刻蚀掩模来对薄膜进行刻蚀,然后去除该光刻胶图案。从而,在基板上形成了期望的图案。 然而,光刻方法包括诸...
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