技术编号:7231781
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及利用Pb系钙钛矿型氧化物的铁电体电容器、铁电体电容器的制造方法、以及利用本发明的铁电体电容器的铁电体存储器。背景技术 PTZ(Pb,(Zr,Ti)O3)等的Pb系钙钛矿型氧化物,其具有优良的铁电体特性或压电特性。因此,例如作为铁电体电容器的铁电体膜已受到关注(参照日本特开2001-139313号公告)。发明内容本发明的目的在于提供一种可靠性良好的铁电体电容器及其制造方法。本发明的另一目的在于提供包含本发明的铁电体电容器的铁电体存储器。本发明的铁电...
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