技术编号：7232014
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及太阳能电池制作エ艺，更具体地说，涉及ー种硅片扩散、制结用的扩散源液供给装置。背景技术扩散制结是太阳能电池片制作过程中较为重要的ー个环节。扩散制结一般是将P型硅片放入扩散炉内，向炉内通入含N型杂质原子(如磷原子)的气体，N型杂质原子通过硅原子之间的空隙向硅片内部渗透扩散，形成PN结；或是在N型硅片上扩散P型杂质原子(如硼原子)，形成PN结。利用扩散源液气体供给装置使保护性气体(如纯净的氮气)，在源瓶中进行鼓泡(所述源瓶盛放有扩散源液，放置在恒温...
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