技术编号:7232091
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及蚀刻设备。更具体而言,本发明涉及用于基板的使用蚀刻溶液的蚀刻设备。背景技术 通常,平板显示装置包括下列装置之一,诸如液晶显示器(LCD)、等离子体显示面板(PDP)、或有机发光二极管(LED)。平板显示装置用于各种显示装置,诸如大尺寸电视机(TV)、膝上型计算机的监视器和移动电话。平板显示装置设置有基板。例如,在使用液晶的LCD中,两个透明玻璃基板彼此相对设置且液晶置于其间。此外,由于近来制造重量更轻、尺寸更薄的平板显示装置的趋势,已经对开发薄的...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。