技术编号：7232098
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于导电接触探头的导电接触探头保持器，所述导电接触探头可用于对与半导体器件相关联的元件进行测试。背景技术 对与半导体器件相关联的元件进行的各种测试包括涉及在高温(约150℃)下长时间(从几小时到几十小时)地施加电压的老化测试。由于对封装级进行老化测试效率不高，所以更希望(例如，通过使用直径为200mm的晶片)执行晶片级的老化测试。在这种晶片级的老化测试中，需要能够同时访问多个点的导电接触探头。希望导电接触探头中使用的每个接触单元都具有以下结构即，...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。