技术编号:7232250
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及,特别涉及在衬底中引入栽流子寿命抑制因数(carrier lifetime killer)来提高特性以及可 靠性的.背景技术在绝缘栅双极型晶体管UGBT)等功率半导体元件中,通常,在 衬底内设置含有pn结的二极管.在该二极管变为导通状态时,通过pn 结注入少数栽流子.在二极管变为截止状态时,在少数栽流子过剩的 情况下,产生反向电流,能量损失变大.为了将所迷能量损失抑制得较小,在衬底内设有晶格缺陷 (Crystal lattice defect)等...
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