技术编号：7232445
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及压电驱动MEMS装置。背景技术 近来，使用通过使用MEMS(微型机电系统)技术制造的致动器的可变电容器和开关引起了关注。活动电极形成在梁上，梁支撑在衬底上方空中。固定电极形成在相对的衬底上。梁由静电力、电热力、电磁力、压电力等等驱动。活动电极和固定电极之间的距离是变化的。因此形成了可变电容器或开关。尤其是在使用反向压电效应作为活动梁的驱动力的可变电容器或开关中，活动电极和固定电极之间的间隔可以急剧和连续地改变，因此电容变化率就会很大。另外，因为空...
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