技术编号：7232594
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明用于半导体光电子器件制造，具 体涉及到 一 种制作光子晶体结构氮化镓(GaN)基发光 二极管的方法。背景技术随着以氮化物为基础的高亮度发光二极管(LED) 的开发和应用，新 一 代绿色环保型固体照明光源_氮 化物白光LED已成为人们关注的焦点。白光LED具有 节能、环保、冷光源、显色指数高、响应速度快、体 积小和工作寿命长等突出优点。随着 InGaN/GaN MQW 蓝光材料的研究深入和白光LED器件制备性能的稳步 提高，LED已经从应用于电子产品的...
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