技术编号：7232948
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及根据晶圓质量检测结果对于晶圓质量进行分析的方法及装置。 背景技术目前，晶圓制造工艺在工艺控制、设备操作和材料制造方面都要求很高 的精确度。 一个错误就有可能导致晶圆的完全报废。在整个工艺过程中，晶 圓和工艺质量好坏的评估是通过大量的测试和测量得出的。其中，晶圓良率 是衡量所生产的晶圓性能是否可靠的一个较重要的指标。而晶圓的良率受到 许多方面的制约，例如，晶圓破碎和弯曲、工艺制程变异、工艺制程缺陷和 光刻掩膜版缺陷都会对晶圆的良率产生影响。为了保证...
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