技术编号：7233062
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种具有周期阵列结构的利用嵌段共聚物的自组织相分离结构的精细图 案的制作方法。背景技术本发明的适用于例如高密度记录介质和高集成电子元件的制造。 诸如个人计算机这类信息技术设备其功能的最新快速提高在很大程度上依赖于例如半导体器件制造中所使用的微制作技术的进步。到目前为止，设法提高制作尺度的精细度 主要是通过使用在光刻中发出更短波长光的曝光光源来进行这种努力。但提高的制作尺度 的精细度和提高的图案密度导致制造工艺中的光刻其成本巨大。将图案尺度的精细度...
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