技术编号:7233092
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及放射线敏感性树脂组合物。更具体地说,涉及可适合作为对如下的微细加工有用的化学增幅型抗蚀剂来使用的放射线敏感性树脂组合物,所述微细加工是使用以KrF准分子激光、ArF准分子激光为代表的远紫外线、同步加速器放射线等X射线、电子 束等带电粒子射线之类的各种放射线的微细加工。背景技术在以制造集成电路元件为代表的微细加工领域中,为了获得更高的集成度,最近 需要可实现O. 20ym以下水平的微细加工的光刻技术。但是,以往的光刻工艺中,一般使用 i射线等近紫外...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。