技术编号:7233192
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及多晶硅薄膜晶体管(TFT)技术,更具体地,涉及ー种具有搭桥晶粒结构的多晶硅薄膜晶体管。背景技术为实现多晶 硅TFT有源矩阵显示器面板的エ业化制造,通常需要高质的多晶硅膜,并且满足以下要求低温加工、可以在大面积玻璃衬上实现、低制造成本、稳定的制造エ艺、高性能、一致性、以及多晶硅TFT的高可靠性。高温多晶硅技术可以用来实现高性能TFT,但是它不能用于商业显示器面板中使用的普通玻璃衬底。在这样的情形下,必须使用低温多晶硅(LTPS)。有三种主要的L...
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