技术编号:7233634
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型有关一种具有工作件转送保护功能的半导体制程设备,特别是有关一种保护制程设备和标准机械介面(standardized mechanical interface)(SMIF)自动化传送装置的半导体制程设备。背景技术对降低每单位晶片制程成本的需求,驱使半导体业不断的搜寻增加晶片优良率及降低制造循环周期的方法。而众所周知,要增加半导体晶片制造系统的总产量,不外乎确保每一机台稳定的晶片供给量。因此,工厂的物料管理系统的处理能力就影响了在场内循环的晶片载具数...
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