技术编号:7233960
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光源装置,特别涉及容易安装用于产生紫外线的合适的 放电灯的光源装置。背景技术以往,在半导体器件(IC)、液晶面板(LCD)、印刷电路板(PCB) 等的制造工序中,在曝光中使用具有产生紫外线的放电灯的光源装置。 如图8所示,这类放电灯由石英灯泡5、阳极53、阴极54、内部导棒55、 外部导棒56、封闭管52以及灯头结构体1构成。石英灯泡5由球状的发 光管51和2个封闭管52构成。阳极53和阴极54在发光管51中相对配 置。利用内部导棒55支撑阳极5...
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