技术编号：7234018
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及把在表面具有微细的凹凸的压模和被转印体加压，在 所述被转印体表面转印所述压模的凹凸形状的压印方法和压印装置，背景技术近年，随着半导体集成电路的微细化、集成化的进展，作为用于 实现微细加工的图案转印技术，光刻装置的高精度化正在进展。可是， 加工方法接近光膝光的光源的波长，光刻技术也接近界限。因此，为 了推进进一步的微细化、高精度化，使用带电粒子束装置的一种即电 子束曝光装置来代替光刻技术。使用电子束的图案形成与使用i线、受激准分子激光器等光源的 图...
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