技术编号:7234081
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于在便携式终端设备、玩具、汽车、飞机等中进行 加速度检测的半导体加速度传感器。背景技术加速度传感器通常用于汽车气嚢的致动并作为加速度来测量汽车碰撞的沖击。因为在汽车中测量沿X轴方向的加速度和/或沿Y轴方 向的加速度,所以一轴或两轴的功能就足够了。因为所测得的加速度 非常大,所以检测加速度的加速度传感器元件要制造得很可靠。最近, 加速度传感器通常用于便携式终端设备和机器人中。为了检测三维空 间中的运动,需要可以测量沿X轴方向、Y轴方向和Z轴方向的...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。