技术编号:7234249
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种, 尤其涉及一种可降低光波导界面处光反射的光波导、半导体光学集 成元件及其制造方法。背景技术作为半导体激光器的光波导包括将上部包覆层蚀刻成台面条 带状的、能约束水平方向的光线的脊型波导,以及不仅上部包覆层、 也将芯层及下部包覆层蚀刻成台面条带状的高台面型波导等。由于脊型波导不蚀刻芯层,能降低半导体光学元件侧面的缺陷 等级。另一方面,高台面型波导具有水平方向光线约束大、能降低 电容等特点(例如,参考特开2000-228558号公报)。由于脊型波...
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