倾斜侧壁的弹性凸块及其制造方法技术资料下载

技术编号:7236010

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本发明有关一种弹性凸块结构及其制造方法,目的在提升 金属层的厚度均匀性,且避免显影及蚀刻制程后,该金属层尺 寸变小或局部变窄,以及改善弹性凸块在构装时金属层发生皱 折、断裂等问题。背景技术弹性凸块是一制作于集成电路芯片的焊塾上的凸形结构体,由弹 性的有机聚合物核心凸块及包覆其外层的金属膜所构成,便于后续以芯片与玻璃基板封装(Chip on Glass, COG)或芯片与薄膜基板封装(Chip onFilm,COF)等构装方式,将芯片的线路功能经焊垫、弹性凸...
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