技术编号：7236154
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明的实施方案通常是涉及用于将大面积基板转移到真空处理系统 中的装载锁定室及其操作方法。背景技术薄膜晶体管(TFT)通常被用于有源阵列显示器，例如，计算机和电 视监视器，移动电话显示器，个人数字助理(PDAs)和与日倶增的其它设 备。通常，平板屏面包括两个中间夹有一层液晶材料的玻璃板。至少其中 一个玻璃板上包括一层置于其上的导电薄膜，该导电薄膜与电源连接。电 源提供给导电薄膜的电会改变晶体材料的定向，以产生图案显示。随着市场对平板屏面技术的认同，对于大显...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。