一种硫属相变存储器cram存储元的制作方法技术资料下载

技术编号:7236314

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本发明属于存储器CRAM存储元的结构,更具体而言,是一种硫属 相变存储器CRAM存储元。背景技术硫属相变存储器C隨(Chalcogenide-based phase-change RAM), 是以硫属化合物为存储介质,通入电流产生焦耳热使硫属化合物发生可 逆性结构相变,利用其晶态和非晶态之间高达四个数量级的阻抗差来实 现二进制信息存储的半导体随机存取存储器。研究比较成熟的可用于 CRAM的硫属化合物多为Ge2Sb2Te5,简称GST。当外部脉冲电路给以短时...
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