可调谐电容器及其方法技术资料下载

技术编号:7236377

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本发明的实施例通常涉及电容器,更具体而言,涉及一种允许调制电 容值的电容器结构。背景技术各种集成电路应用需要并入可调谐电容器(例如在延迟线路、负载调 谐器等中)。然而,就尺寸不断按比例缩放而言,当前可得的可调谐电容 器结构受到了限制(例如,由于掺杂剂波动、电流泄漏等)。因此,在本 需要与其它半导体器件(例如本领域当前状态的场效应晶体管(FET))相比有利于尺寸不断按比例缩放的可调谐电容器结构。 发明内容鉴于上述,在此公开了作为电容器操作的背栅极晶体管和在这...
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