技术编号:7236402
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明一般涉及半导体制造,更明确地说,涉及一种半导体薄膜 结晶及半导体组件制造的方法。背景技术近来,作为半导体组件中的高品质主动层的多晶硅薄膜因其卓越 的电荷载子传输特性及与目前半导体组件制造的高兼容性而引起了极 大的关注。通过低温制造方法,可在透明玻璃或塑料衬底上制造可靠的多晶硅薄膜晶体管(Thin Film Transistor; TFT),以使多晶硅在诸如主 动式矩阵液晶显示器(Active Matrix Liquid Crystal Display...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。