技术编号:7236410
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种图像传感器。背景技术图像传感器可以一种被配置为将光学图像转换为电信号的半导体器件,并且可分类为电荷耦合器件(CCD)和CMOS图像传感器中的一种。 通过以下过程来制造现有技术的图像传感器。首先,可在半导体衬底上形成晶体管和电连接至晶体管的光电二极管。 在晶体管和光电二极管上可形成绝缘层结构和互连。随后,在绝缘层结构上 可形成滤色镜,其包含红色、绿色和蓝色滤色镜。在滤色镜上可涂覆正型的 光致抗蚀剂膜,从而形成平坦化层。之后,在平坦化层上可涂覆光...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。