技术编号：7236800
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明是一种离子注入机的平行束的角度测量法拉第装置，涉及离子注入机，属于半导 体制造领域。 背景技术在200mm或更大尺寸的晶片的离子注入工艺中，待注入的平行离子束束流方向水平面 内相对于靶上处于垂直注入位置的晶片法线方向的角度会影响实际注入的有效束宽度和束流 中心相对于晶片中心的偏移量，进而影响注入剂量的均匀性和准确性。为了实时的监测到注 入时平行束流的角度变化，用角度测量法拉第装置来检测平行束流稳定性。测得的角度值返 馈到平行束控制系统后，调节引起角度...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。