技术编号:7236813
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微电子学与分子电子学中的微细加工,尤其涉及 一种采用两次定向蒸发金属电极制备交叉分子电子器件的方法。背景技术随着大规模集成电路的特征尺寸进入到纳米级,传统的硅基集成电路 技术面临挑战,新材料及新结构的研究成为热点,纳米电子学分支之一的 分子电子器件正在蓬勃发展。基于双稳态开关特性的交叉分子电子器件(Chen Y, Jung G Y, Ohlberg DAAetal.Nanotechnology, 2003, 14462)是目前分子电子器件的主要结...
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