一种用于交换偏置型磁电阻传感器元件的多层膜材料的制作方法技术资料下载

技术编号:7236872

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本发明属于磁电阻传感器,特别是提供一种交换偏置型磁电阻传感器元件。 技术背景利用各向异性磁电阻效应(Anisotropic Magnetoresistance, AMR)可制作磁栅尺位移传 感器、磁电子罗盘、速度传感器、电流传感器等等。AMR传感器可用于无接触测量, 而且响应速度快、功耗小、温度稳定性好等。目前常用的AMR传感器主要是Ta/NiFe/Ta薄膜,其优点是灵敏度高,缺点是磁电阻比 值(3%)和饱和场(lOOe)都较小,不适于在较高磁场(100—...
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